| 組織委員長 |
松永 範昭 |
アプライド マテリアルズ ジャパン（株） |
| 組織委員長補佐 |
齊藤 丈靖 |
大阪公立大学 |
| 実行委員長（総務・財務・広報兼任） |
樋爪 俊一 |
ラムリサーチ（株） |
| 実行副委員長（総務） |
田中 貴久 |
慶應義塾大学 |
| 実行副委員長（財務） |
清水 完 |
ソニーセミコンダクタソリューションズ（株） |
| 実行副委員長（広報） |
西岡 浩 |
（株）アルバック |
| 総務委員長 |
福田 匡志 |
東京科学大学 |
| 総務副委員長 |
筑根 敦弘 |
東京大学 |
| 総務委員 |
百瀬 健 |
熊本大学 |
| 総務委員 |
吉川 恵梨子 |
（株） 田中貴金属（新） |
| 財務委員長 |
茅場 靖剛 |
東京エレクトロン（株） |
| 財務副委員長 |
加藤 直子 |
IBM東京基礎研究所（兼任） |
| 広報委員長 |
山本 洋 |
JX金属（株） |
| 広報副委員長 |
末盛 秀美 |
（株）日立ハイテク（兼任） |
| 論文委員長 |
松本 貴士 |
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ（株） |
| 論文副委員長 |
大竹 浩人 |
アプライド マテリアルズ ジャパン（株） |
| 論文副委員長 |
鈴木 恵友 |
九州工業大学 |
| 論文副委員長 |
小野 昇子 |
三井化学（株） |
| Tutorial委員長 |
竹口 直樹 |
サンディスク合同会社 |
| Tutorial副委員長 |
清水 秀治 |
大陽日酸（株） |
| 特任委員（特集号担当） |
鈴木 恵友 |
九州工業大学 |
| 特任委員（シリテク担当） |
齊藤 丈靖 |
大阪公立大学 |
| 特任委員（海外担当） |
Gu Xun |
日本エー・エス・エム（株） |
| 内規管理特任委員 |
|
|
| 論文委員 |
梶田 明広 |
キオクシア（株） |
| 論文委員 |
竹下 寛 |
三菱ケミカル（株） |
| 論文委員 |
加藤 直子 |
IBM東京基礎研究所（兼任） |
| 論文委員 |
井上 史大 |
横浜国立大学 |
| 論文委員 |
村中 誠志 |
ルネサスエレクトロニクス（株） |
| 論文委員 |
栗田 一成 |
（株）SUMCO |
| 論文委員 |
首藤 栄一郎 |
東京エレクトロン（株） |
| 論文委員 |
福島 誉史 |
東北大学 |
| 論文委員 |
川野 連也 |
東京大学 |
| 論文委員 |
清水 英樹 |
（株）SCREENホールディングス |
| 論文委員 |
末盛 秀美 |
（株）日立ハイテク |
| 論文委員 |
Maryam Hosseini |
imec |
| 論文委員 |
廣谷 太志 |
アプライド マテリアルズ ジャパン(新） |
| 論文委員 |
寺澤 祐仁 |
サンディスク合同会社（新） |
| 論文委員 |
横川 慎二（顧問） |
電気通信大学 |
| Tutorial委員 |
志村 安広 |
（株）荏原製作所 |
| Tutorial委員 |
近藤 誠一（顧問） |
（株）レゾナック |
| Tutorial委員 |
今井 正芳 |
（株）荏原製作所 |
| Tutorial委員 |
松本 貴士（兼任） |
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ（株） |
| 広報委員 |
遠藤 和彦 |
東北大学 |
