ADMETA Satellite Workshop  
 Advanced Metallization Conference: Satellite Workshop

Late News Posterを募集します

申込締切2018年10月5日
募集要項
  
  ごあいさつ
   最先端配線技術に関する国際会議であるAdvanced Metallization Conference: Asian Sessionは、例年、本会議に併設して日本語によるTutorialを開催しており、好評をいただいております。2018年は、海外(中華人民共和国)で開催される本会議と並んで、国内においてTutorialを中https://www.ulvac.co.jp/心としたサテライトワークショップを開催いたします。各方面の著名な講師に登壇をお願いし、基礎から最新技術動向までお話いただきます。また、招待講演、一般講演のセッションも設けました。
入社間もない若手社員や研究室の学生さんから、中堅社員の方々と一緒に、今後の我が国の半導体産業の行く方を議論したいと考えております。そのため、会議は日本語にて行います。多くの皆さまのご参加を心よりお待ちしております。
      
   ADMETA サテライトワークショップ 共同委員長 中塚 理 (名古屋大学)
    横川 慎二 (電気通信大学)
  Tutorial委員長 樋爪 俊一 (ラムリサーチ)
   

  主催 主催:ADMETAPlus 2018日本委員会
  後援 公益社団法人応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会
  開催日 2018年11月2日(金)
  会場 東京大学 武田先端知ビル(浅野キャンパス)
    〒113-8654 東京都文京区弥生2-11-16 
     https://www.u-tokyo.ac.jp/campusmap/cam01_04_16_j.html

プログラム 
9:25-9:30 Opening Remarks: 横川慎二 「電気通信大学]
チュートリアルセッション(9:30-12:40)
座長:樋爪俊一 [ラムリサーチ]、近藤誠一 [日立化成工業]
講演1
9:30-10:30
データの価値判断による不揮発性メモリの高信頼化
竹内 健 (中央大学 理工学部電気子情報通信科 教授)
講演2
10:35-11:35
エンドポイントにインテリジェンスを:スマートファクトリーを実現するe-AIソリューション
傳田 明 (ルネサスエレクトロニクス株式会社 IAソリューション事業部 事業部長)
講演3
11:40-12:40
IOT革命がもたらす半導体市場の急拡大
泉谷 渉 (株式会社産業タイムズ社 代表取締役社長)
12:40-12:45 休憩
ランチョン・ポスターセッション (12:45-14:10)
座長:武山真弓 [北見工業大学]、多田宗弘 [NEC]
P-1 局所クラスタ化した欠陥を伴うTDDB の寿命分布のパラメータ推定精度の研究「電気通信大学] 國井喬介, 遠藤駿, 横川慎二
P-2 エレクトロマイグーション のチップレベル 寿命分布の考察 [電気通信大学] 横川慎二, 國井喬介
P-3 Lifetime Prediction of Humidity Resistance on Cu-based Metallization for Long-term Storage [1Shibaura Institute of Technology, 2The University of Electro-Communication, 3 SIT Research Center for Green Innovation] Ploybussara Gomasang 1, Satoru Ogiue 1, ShinKi Yokogawa 2, and Kazuyoshi Ueno 1,3
P-4 LSI微細 配線に向けた無電解 配線に向けた無電解 CoBめっきの検討[関西大学] 深堂秀亮, 井芹崇樹, 森田康生, 清水智弘, 伊藤健, 新宮原正三
P-5 固体の電気インピーダンス解析 ~エゾシカ肉の生体測定~ [北見工業大学] 武山 真弓, 佐藤 勝
P-6 SiO2上に形成した無電解CoB膜のCu拡散バリア性に及ぼすW添加の影響 [関西大学] 井芹 崇樹, 深堂 秀亮, 清水 智弘, 伊藤健, 新宮原 正三
P-7 超臨界流体中でのPt エッチング [山梨大学] 近藤英一, 荻原佑太
Award記念Poster
昨年までのADMETAにおいてAwardを受賞された講演のいくつかについて、受賞以来の研究の進捗を含めて、Posterにて再度ご発表いただく場を設けました。当時聞き逃された方は、ぜひこの機会をご利用ください。
P-AW1 Synthesizing Sulfide Semiconductor Materials by using High-speed Electrodeposition and its applications [Osaka Prefecture University] Naoki Okamoto, Haruka Tamura, and Takeyasu Saito
P-AW2 三次元積層向けウェハの裏面研削によるダメージ評価 [富士通研究所] 水島賢子
P-AW3 枚葉式高速回転MOCVD装置による高品質HEMTの開発動向~InAlN/GaN系HEMTを中心に~ [ニューフレアテクノロジー] 宮野清孝
 Late News Poster
 募集中
14:10-14:20 休憩
招待・一般講演セッション1(14:20-15:55)
座長:前川和義 [ルネサスエレクトロニクス]、鈴木恵友 [九州工業大学]
SS3-0
14:20-14:35
ADMETA 2018 報告 (中塚 理 「名古屋大学」, Xun Gu (SanDisk)
SS3-1-1
15:35-15:55
招待講演:Ru liner scaling with ALD TaN barrier process for low resistance 7 nm Cu interconnects and beyond [IBM Research]  Koichi Motoyamaほか
※講演は日本語で行われます
SS3-1-2
15:05-15:35
招待講演:ハイブリッド接合の安定化と高信頼化に向けた極薄Mn膜を用いた新接合プロセス [株式会社東芝] 内田健悟, 津村一道, 中村賢朗, 東和幸, 杉崎吉昭, 柴田英毅
SS3-1-3
15:35-15:55
極薄TaWN バリヤ上のCu(111)配向制御 [1北見工業大学, 2東レリサーチセンター] 武山 真弓1, 安田 光伸2, 佐藤 勝1
15:55-16:05 休憩
招待・一般講演セッション2(16:10-17:30)
座長:齊藤 丈靖 「大阪府立大学」、梶田明広 [東芝メモリ]
SS3-2-1
16:05-16:35
招待講演:P型GaN上に形成した単結晶Al配線およびそのGaN FETへの応用 「パナソニック株式会社] 原田剛史ほか
SS3-2-2
16:35-17:05
招待講演:高集積プログラマブルロジックに向けた原子スイッチ技術の開発 [日本電気株式会社 NECシステムプラットフォーム研究所] 阪本利司
SS3-2-3
17:05-17:25
SixGe1-x-ySny 三元混晶界面層の結晶物性が金属/Ge 界面Schottky 障壁高さに及ぼす影響 [1名古屋大学大学院, 2名古屋大学 未来材料・システム研究所, 3日本学術振興会, 4名古屋大学 未来社会創造機構] 中塚理1,2, 鈴木陽洋1,3, 坂下満男1, 財満鎭明4
17:25-17:30 Closing Remarks: 横川慎二 「電気通信大学]

投稿要項

投稿原稿は、下記よりダウンロードしたフォーマットを用いて作成し、PDFファイルに変換したものを、電子メールに添付して、下記のアドレスまで送付ください。

 投稿フォーマット(ダウンロード)

 送付先:jimukyoku@admeta.org

ADMETAサテライトワークショップは、中国で開催される本会議とは異なり、日本語での一般投稿を募集いたします。ワークショップの公用語は日本語ですので、発表は日本語で行っていただきます。原稿も日本語で作成ください(英語での発表を希望される場合には、事前にご一報ください)。

また、本ワークショップへの投稿は、Japanese Journal of Applied Physicsの特集号の対象とはなりません。特集号への投稿を希望される方は、本会議への投稿(http://www.admeta.org/2018/admeta_call_e.html)をご検討ください。

なお、原稿作成の際の注意事項は、上記のフォーマットに記載されております。原稿作成の際には必ずご一読の上、ご確認ください。採択になった原稿は、当日の参加者のみに対して、印刷媒体で配布されます。

注)投稿の際には、「口頭発表」「ポスター発表」のいずれを希望するかを明示下さい。なお、投稿多数の際には、口頭発表を希望された場合でも、ポスターに回っていただくこともありますので、ご留意ください。

 投稿締め切り2018年7月20日 >> 2018年8月3日(金)(本会議の投稿締め切りとは異なります)

参加費
 一般: 10,000円(10月5日まで)/13,000円(10月6日から)
 学生:  3,000円(10月5日まで)/5,000円(10月6日から)

参加登録
 以下のリンクからお申込みください。
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問合せ先
 ADMETAサテライトワークショップ事務局
 E-mail:jimukyoku@admeta.org


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