| 論文委員 |
梶田 明広 |
キオクシア（株） |
| 論文委員 |
鈴木 恵友 | 九州工業大学 |
| 論文委員 |
竹下 寛 | 三菱ケミカル（株） |
| 論文委員 |
松永 範昭 | アプライド マテリアルズ ジャパン（株） |
| 論文委員 |
松本 貴士 | 東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ（株） |
| 論文委員 |
松山 英也 | （株）ソシオネクスト |
| 論文委員 |
久田 隆史 | 日本アイ・ビー・エム（株）東京基礎研究所 |
| 論文委員 |
井上 史大 | 横浜国立大学 |
| 論文委員 |
横川 慎二 | 電気通信大学 |
| 論文委員 |
村中 誠志 | ルネサスエレクトロニクス（株） |
| 論文委員 |
栗田 一成 | （株）SUMCO |
| 論文委員 |
首藤 栄一郎 | （株）SCREENセミコンダクターソリューションズ |
| 論文委員 (中国) |
Jun Luo | Chinese Academy of Science |
| チュートリアル委員 |
筑根 敦弘 | 大陽日酸（株） |
| チュートリアル委員 |
竹口 直樹 | Western Digital Corporation |
| チュートリアル委員 |
近藤 誠一 | 昭和電工マテリアルズ（株） |
| 総務委員 |
菊地 良幸 | 日本エー・エス・エム（株） |
| 総務委員 |
百瀬 健 | 東京大学 |
| 総務委員 |
福田 匡志 | 東京工業大学 |
| 広報委員 |
樋口 靖 | （株）アルバック |
| 広報委員 |
遠藤 和彦 | 産業技術総合研究所 |
| 広報委員 (US) |
野上 毅 | IBM Corporation |
| 広報委員 (韓国） |
Young-Chang Joo | Seoul National University |
| 広報委員 (韓国） |
Jin-Goo Park | Hanyang University |
| 広報委員 (台湾） |
Chih-Chien Liu | United Microelectronics Corporation |
| 広報委員 (台湾） |
Lih J. Chen | National Tsing Hua University |
| 広報委員 (シンガポール) |
Chuan Seng Tan | Nanyang Technological University |
| 広報委員 (US) |
Hong Jin Kim | GLOBALFOUNDRIES |
| 広報委員 (中国) |
Xinping Qu | Fudan University |
| 広報委員 (中国) |
Jing Zhang | North China University of Technology |
